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位移傳感器鍍膜

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上海子微智能科技有限公司

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ZPVD Plas系列真空鍍膜機

2024-08-09 11:38:05

1. 

ZPVD plas系列機型是我公司開發(fā)的高性能科研膜機,是以先進設(shè)計理念建立的準化可展薄膜沉平臺。模化真空腔室設(shè)計,高品質(zhì)真空部件,搭配準及可制工源(磁控/子束/發(fā)),結(jié)合客,在控制最優(yōu)成本下,可極大減交付周期。

上海子微大的工程團隊依托ZPVD plas機型可隨提供屬于您的薄膜工解決方案,設(shè)備的成套方案設(shè)計氣系統(tǒng)發(fā)、測試程序開發(fā)、特定的拓展模接口、定制開發(fā)實現(xiàn)高真空下子束、磁控射、離子源、阻以及K-cell等薄膜沉提供全方位的服與支持,您的科研工作來無限拓展空,是新材料、新器件、新能源等領(lǐng)域的科研首

2. 功能、特點

多種薄膜沉兼容:磁控/子束發(fā)/發(fā),可升應濺

化腔體,工搭配合便捷

轉(zhuǎn)樣品臺可加、可冷卻、可加偏

等離子清洗

智能操控界面及多種工流程控制

可自保存工數(shù)據(jù)

離子源助沉(可

Load-lock可

致密、均勻,性能優(yōu)

高性能平臺

3. 材料

金屬、氧化物、氮化物、陶瓷等;

4. 型號規(guī)及性能

 

規(guī)

*數(shù)量

選項



ZP plas 100

ZP plas 200


射陰極

2、3、4吋

4

6

磁陰極

子束蒸發(fā)

4、6穴位,10kw

1

1


發(fā)

2、4吋

4

6


DC、PDC、RF

根據(jù)工

根據(jù)工


品臺


≤150mm,2~6''

≤200mm,2~8''

轉(zhuǎn)冷卻

1000W

1臺

1臺

清洗

500W  RF

1臺

1臺

離子源

500W

1臺

1臺

Load-lock

*行程1500mm

1個

1個

抽氣速度

大氣到5.0×10-3Pa

25min



均勻性


±5%



漏率


2.0×10-9Pa·L/S



5. 適用行業(yè)

子、光、感器、體、智能汽、機器人、新能源、航空航天;

6. 機型


  上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園,立足上海,服務全球。

公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念,堅持以專業(yè)技術(shù)為客戶提供質(zhì)量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務,為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值!

公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù),具有多年行業(yè)經(jīng)驗,致力于為超導材料、量子器件、傳感器、半導體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務。

公司擁有多臺套大型加工設(shè)備,如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等,具有大型工件的加工能力,可為客戶定制加工各種大型和復雜非標真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認證!


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