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@MP系列精密磁控濺射鍍膜機

1.功能特點

高性能磁控濺射陰極；

離子源輔助沉積；

在線膜厚監(jiān)控，精確控制膜層厚度，不均勻性小于±3%；

高品質(zhì)真空系統(tǒng)及電源；

射頻等離子清洗；

公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架；

智能操控界面及工藝流程；

可自動保存工藝數(shù)據(jù)

2.膜層材料

Cu、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Nb等；

3.典型應(yīng)用

半導(dǎo)體導(dǎo)電層薄膜沉積工藝；

傳感器（位移傳感器、聲學(xué)傳感器等）功能薄膜工藝；

精密光學(xué)鍍膜；

4.行業(yè)應(yīng)用

半導(dǎo)體、傳感器、電子、精密光學(xué)、智能汽車、航空航天；

5.規(guī)格概要

  上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園，立足上海，服務(wù)全球。

公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念，堅持以專業(yè)技術(shù)為客戶提供質(zhì)量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務(wù)，為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值！

公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù)，具有多年行業(yè)經(jīng)驗，致力于為超導(dǎo)材料、量子器件、傳感器、半導(dǎo)體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務(wù)。

公司擁有多臺套大型加工設(shè)備，如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等，具有大型工件的加工能力，可為客戶定制加工各種大型和復(fù)雜非標(biāo)真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證！