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1. 功能、特點

高溫磁控濺射+小顆粒多弧源復合工藝

射頻等離子清洗

離子源輔助沉積（可選）

在線膜厚監(jiān)測（可選）

工藝室*溫度500℃

公自轉轉架

智能操控界面及工藝流程

可自動保存工藝數(shù)據(jù)

2. 膜層材料

Cu、Ni、Cr、Ti、Al、Ag、Au、Nb、ITO、AZO等；

3. 典型應用

DPC陶瓷基板、基座及陶瓷結構件、封裝部件金屬化鍍膜；

陶瓷濾波器等電器件金屬涂層鍍膜；

半導體制冷片陶瓷表面鍍膜；

ITO、AZO等透明電極涂層；

氫燃料電池雙極板鍍膜

電解水制氫電極板鍍膜

4. 適用行業(yè)

電子、半導體封裝、5G通訊、激光及射頻微波器件，新能源、醫(yī)療器械、航空航天；

5. 規(guī)格概要

6. 外觀效果圖

  上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術研發(fā)及應用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園，立足上海，服務全球。

公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念，堅持以專業(yè)技術為客戶提供質量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務，為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值！

公司擁有超高真空技術、納米薄膜技術、等離子技術以及智能控制技術等核心技術，具有多年行業(yè)經(jīng)驗，致力于為超導材料、量子器件、傳感器、半導體、新型顯示、新能源、新材料領域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務。

公司擁有多臺套大型加工設備，如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等，具有大型工件的加工能力，可為客戶定制加工各種大型和復雜非標真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術企業(yè)認證！