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近年來，隨著移動互聯網和智能化產品的普及，電池的需求量不斷攀升。然而，傳統(tǒng)液態(tài)電解質電池存在著容易泄漏、充電速度慢、壽命短等缺點，讓人們對電池有諸多疑慮。而固態(tài)薄膜鋰電池的出現，則為這一問題提供了新的解決方案。

固態(tài)薄膜鋰電池是一種新型電池技術，與傳統(tǒng)電池相比，它具有更高的安全性、更短的充電時間和更長的使用壽命。由于其采用固態(tài)電解質，不存在液態(tài)電解質泄漏的風險，同時還具有更高的能量密度和更好的耐高溫性能。因此，固態(tài)薄膜鋰電池被廣泛應用于智能手機、平板電腦、電動車等各種電子產品中。

全固態(tài)薄膜鋰電池是由鈷酸鋰制成的陰極、氮摻雜正磷酸鋰 （LiPON） 電解質和鋰 （Li） 金屬陽極制成的全固態(tài)鋰薄膜電池。當這種固態(tài)結構沉積在真空中時，可以產生近乎完美的能量密度、長壽命的電池，可以從完全充電到完全放電循環(huán)數千次，而不會降低性能。

當電池充電時，鋰離子從正極材料中脫離，并通過固態(tài)電解質薄膜進入負極材料，完成充電過程。而在放電過程中，鋰離子從負極材料中脫離，通過固態(tài)電解質薄膜進入正極材料，釋放出儲存的能量。

固態(tài)薄膜鋰電池作為一種新型電池技術，具有更高的安全性、更短的充電時間和更長的使用壽命。隨著技術的不斷發(fā)展，它將在未來的電子產品中發(fā)揮越來越重要的作用。

在薄膜鋰電池的研發(fā)和生產過程中，PVD薄膜沉積工藝發(fā)揮了重要作用。我們知道，*的電解質應該是高效的離子導體和良好的電絕緣體，使電池能夠安全運行；陽極和陰極應該是致密的，并允許Li通過電解質在這兩層之間輕松過渡；單個薄膜的均勻性和原始表面是電池隨著時間的推移有效工作的關鍵。薄膜鋰電池的真空制造工藝通常涉及金屬集流體的直流濺射、陰極層（如LiCoO2）的射頻或脈沖直流濺射， LiMn2O4、陰極的高溫退火、為了制造LiPON電解質Li的反應射頻濺射、鋰金屬陽極的熱蒸發(fā)，然后使用ALD用聚對二甲苯或其他保形涂層材料封裝器件。這些材料的優(yōu)化組合可以產生輕、薄、持久和安全的薄膜電池。

我公司很早就參與了固態(tài)薄膜鋰電池的研發(fā)工作，并為之設計了適合研發(fā)人員使用的個性化薄膜沉積平臺工具。

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