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1. 功能、特點(diǎn)

高溫磁控濺射+小顆粒多弧源復(fù)合工藝

射頻等離子清洗

離子源輔助沉積（可選）

在線膜厚監(jiān)測(cè)（可選）

工藝室*溫度500℃

公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架

智能操控界面及工藝流程

可自動(dòng)保存工藝數(shù)據(jù)

2. 膜層材料

Cu、Ni、Cr、Ti、Al、Ag、Au、Nb、ITO、AZO等；

3. 典型應(yīng)用

DPC陶瓷基板、基座及陶瓷結(jié)構(gòu)件、封裝部件金屬化鍍膜；

陶瓷濾波器等電器件金屬涂層鍍膜；

半導(dǎo)體制冷片陶瓷表面鍍膜；

ITO、AZO等透明電極涂層；

氫燃料電池雙極板鍍膜

電解水制氫電極板鍍膜

4. 適用行業(yè)

電子、半導(dǎo)體封裝、5G通訊、激光及射頻微波器件，新能源、醫(yī)療器械、航空航天；

5. 規(guī)格概要

6. 外觀效果圖

  上海子微智能科技有限公司是一家專(zhuān)注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用的高科技公司。公司注冊(cè)在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園，立足上海，服務(wù)全球。

公司秉承“以人為本、開(kāi)放包容、專(zhuān)注專(zhuān)業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念，堅(jiān)持以專(zhuān)業(yè)技術(shù)為客戶(hù)提供質(zhì)量?jī)?yōu)良、價(jià)格合理的產(chǎn)品和服務(wù)，為股東、員工、客戶(hù)和社會(huì)創(chuàng)造*價(jià)值！

公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù)，具有多年行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，致力于為超導(dǎo)材料、量子器件、傳感器、半導(dǎo)體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費(fèi)電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務(wù)。

公司擁有多臺(tái)套大型加工設(shè)備，如六米龍門(mén)銑床、四軸加工中心、數(shù)控車(chē)床、加工中心等，具有大型工件的加工能力，可為客戶(hù)定制加工各種大型和復(fù)雜非標(biāo)真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證！