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上海子微智能科技有限公司
聯(lián)系人:譚經(jīng)理
聯(lián)系方式:13916909939
聯(lián)系電話:021-69528661(傳真)
郵箱:tx_68@163.com
網(wǎng)址:http://maidan168.cn/
公司地址:上海市嘉定區(qū)楊林路575號D座
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1. 簡介
ZPVD plas系列機型是我公司開發(fā)的高性能科研鍍膜機,是以先進設(shè)計理念建立的標(biāo)準(zhǔn)化可擴展薄膜沉積平臺。模塊化真空腔室設(shè)計,高品質(zhì)真空部件,搭配標(biāo)準(zhǔn)及可訂制工藝源(磁控濺射/電子束/熱蒸發(fā)),結(jié)合客戶工藝,在控制最優(yōu)成本下,可極大縮減交付周期。
上海子微強大的工程團隊依托ZPVD plas機型可隨時提供專屬于您的薄膜工藝解決方案,設(shè)備的成套方案設(shè)計、電氣系統(tǒng)開發(fā)、測試程序開發(fā)、特定的拓展模塊接口、定制開發(fā)服務(wù),為您實現(xiàn)高真空下電子束、磁控濺射、離子源、熱阻以及K-cell等薄膜沉積工藝提供全方位的服務(wù)與支持,為您的科研工作帶來無限拓展空間,是新材料、新器件、新能源等領(lǐng)域的科研首選。
2. 功能、特點
多種薄膜沉積工藝兼容:磁控濺射/電子束蒸發(fā)/熱蒸發(fā),可升級反應(yīng)濺射工藝
模塊化腔體,工藝搭配組合便捷
旋轉(zhuǎn)樣品臺可加熱、可冷卻、可加偏壓
射頻等離子清洗
智能操控界面及多種工藝流程控制
可自動保存工藝數(shù)據(jù)
離子源輔助沉積(可選)
Load-lock可選
膜層致密、均勻,性能優(yōu)異
高性能平臺
3. 可選膜層材料
金屬、氧化物、氮化物、陶瓷等;
4. 型號規(guī)格及性能
項目 | 規(guī)格 | *數(shù)量 | 可選項 | ||
ZP plas 100 | ZP plas 200 | ||||
工 藝 源 | 濺射陰極 | 2、3、4吋 | 4 | 6 | 選配強磁陰極 |
電子束蒸發(fā) | 4、6穴位,10kw | 1 | 1 | ||
熱蒸發(fā) | 2、4吋單舟 | 4 | 6 | ||
電源 | DC、PDC、RF | 根據(jù)工藝 | 根據(jù)工藝 | ||
樣品臺 | ≤150mm,2~6'' | ≤200mm,2~8'' | 旋轉(zhuǎn)加熱冷卻 | ||
偏壓 | 1000W | 1臺 | 1臺 | 選配 | |
射頻清洗 | 500W RF | 1臺 | 1臺 | 選配 | |
離子源 | 500W | 1臺 | 1臺 | 選配 | |
Load-lock | *行程1500mm | 1個 | 1個 | 選配 | |
抽氣速度 | 大氣到5.0×10-3Pa | 25min | |||
膜層均勻性 | ±5% | ||||
漏率 | 2.0×10-9Pa·L/S |
5. 適用行業(yè)
電子、光電、傳感器、半導(dǎo)體、智能汽車、機器人、新能源、航空航天;
6. 機型圖
上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園,立足上海,服務(wù)全球。
公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念,堅持以專業(yè)技術(shù)為客戶提供質(zhì)量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務(wù),為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值!
公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù),具有多年行業(yè)經(jīng)驗,致力于為超導(dǎo)材料、量子器件、傳感器、半導(dǎo)體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務(wù)。
公司擁有多臺套大型加工設(shè)備,如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等,具有大型工件的加工能力,可為客戶定制加工各種大型和復(fù)雜非標(biāo)真空部件。
公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認證!