@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機(jī)
@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機(jī)
一、@MS系列高性能磁控濺射鍍膜機(jī)
1.功能、特點(diǎn)
低溫磁控濺射
射頻等離子清洗
離子源輔助沉積（可選）
公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)架
智能操控界面及工藝流程
可自動保存工藝數(shù)據(jù)
膜層致密、均勻，電性能優(yōu)異
2.可選膜層材料
Cu、Al、Ag、Au、Ni、Cr、Ti、Nb等；
3.典型應(yīng)用
陶瓷器件鍍制高質(zhì)量電極（PZT壓電陶瓷、復(fù)合功能陶瓷、PTC熱敏電阻等）
電子產(chǎn)品鍍制電磁屏蔽（EMI）涂層；
藍(lán)寶石、玻璃、亞克力等光學(xué)元件鍍制金屬膜層；
熱沉材料、塑封器件金屬化；
傳感器鍍制金屬涂層（位移傳感器、ZrO2氧傳感器、溫濕度傳感器等）
4.適用行業(yè)
電子、光電、傳感器、智能汽車、機(jī)器人、新能源、航空航天；
5.規(guī)格概要
