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1. 簡介

ZPVD plas系列機型是我公司開發(fā)的高性能科研鍍膜機，是以先進(jìn)設(shè)計理念建立的標(biāo)準(zhǔn)化可擴展薄膜沉積平臺。模塊化真空腔室設(shè)計，高品質(zhì)真空部件，搭配標(biāo)準(zhǔn)及可訂制工藝源（磁控濺射/電子束/熱蒸發(fā)），結(jié)合客戶工藝，在控制最優(yōu)成本下，可極大縮減交付周期。

上海子微強大的工程團(tuán)隊依托ZPVD plas機型可隨時提供專屬于您的薄膜工藝解決方案，設(shè)備的成套方案設(shè)計、電氣系統(tǒng)開發(fā)、測試程序開發(fā)、特定的拓展模塊接口、定制開發(fā)服務(wù)，為您實現(xiàn)高真空下電子束、磁控濺射、離子源、熱阻以及K-cell等薄膜沉積工藝提供全方位的服務(wù)與支持，為您的科研工作帶來無限拓展空間，是新材料、新器件、新能源等領(lǐng)域的科研首選。

2. 功能、特點

多種薄膜沉積工藝兼容：磁控濺射/電子束蒸發(fā)/熱蒸發(fā)，可升級反應(yīng)濺射工藝

模塊化腔體，工藝搭配組合便捷

旋轉(zhuǎn)樣品臺可加熱、可冷卻、可加偏壓

射頻等離子清洗

智能操控界面及多種工藝流程控制

可自動保存工藝數(shù)據(jù)

離子源輔助沉積（可選）

Load-lock可選

膜層致密、均勻，性能優(yōu)異

高性能平臺

3. 可選膜層材料

金屬、氧化物、氮化物、陶瓷等；

4. 型號規(guī)格及性能

5. 適用行業(yè)

電子、光電、傳感器、半導(dǎo)體、智能汽車、機器人、新能源、航空航天；

6. 機型圖

  上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園，立足上海，服務(wù)全球。

公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念，堅持以專業(yè)技術(shù)為客戶提供質(zhì)量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務(wù)，為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值！

公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù)，具有多年行業(yè)經(jīng)驗，致力于為超導(dǎo)材料、量子器件、傳感器、半導(dǎo)體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務(wù)。

公司擁有多臺套大型加工設(shè)備，如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等，具有大型工件的加工能力，可為客戶定制加工各種大型和復(fù)雜非標(biāo)真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證！