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ZPVD ultr系列真空鍍膜機

1. 簡介

ZPVD ultr系列薄膜沉積平臺是我公司專為前沿科學研究而研發(fā)的高性能超高真空薄膜沉積平臺， 多種UHV 超高真空薄膜沉積工藝、靈活的LOAD-LOCK功能、功能強大的軟件控制系統(tǒng)以及用于優(yōu)化薄膜性能的眾多功能，為您的科研工作提供了強大可靠的保障。

ZPVD ultr系列真空鍍膜機

2. 功能、特點

UHV真正的超高真空性能，極限真空度達6.67×10^-8Pa；

優(yōu)異的抽真空性能，可選低溫泵或離子泵；

晶圓樣品尺寸*可達?200mm，支持多片樣品；

多種薄膜沉積工藝兼容：磁控濺射/電子束蒸發(fā)/熱蒸發(fā)；

優(yōu)化腔體設(shè)計，工藝維護更便捷；

旋轉(zhuǎn)樣品臺可加熱、可冷卻、可加偏壓；

離子源輔助沉積（可選）

智能操控界面及多種工藝流程控制

可自動保存工藝數(shù)據(jù)

膜層更致密、均勻，純度更高；

高性能

3. 可選膜層材料

金屬、氧化物、氮化物、陶瓷等；

4. 型號規(guī)格及性能

 5. 應用

超導材料

約瑟夫森結(jié)

自旋電子學薄膜

巨磁電阻 （GMR）

數(shù)據(jù)存儲（磁性薄膜）

磁性隧道結(jié)

納米器件

光學薄膜和光子學

有機薄膜

  上海子微智能科技有限公司是一家專注于真空鍍膜技術(shù)研發(fā)及應用的高科技公司。公司注冊在上海張江高科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)嘉定分園，立足上海，服務(wù)全球。

公司秉承“以人為本、開放包容、專注專業(yè)、互利共贏”的發(fā)展理念，堅持以專業(yè)技術(shù)為客戶提供質(zhì)量優(yōu)良、價格合理的產(chǎn)品和服務(wù)，為股東、員工、客戶和社會創(chuàng)造*價值！

公司擁有超高真空技術(shù)、納米薄膜技術(shù)、等離子技術(shù)以及智能控制技術(shù)等核心技術(shù)，具有多年行業(yè)經(jīng)驗，致力于為超導材料、量子器件、傳感器、半導體、新型顯示、新能源、新材料領(lǐng)域以及消費電子、工業(yè)控制、5G通信、航空航天、生物醫(yī)療、核聚變工程和節(jié)能環(huán)保行業(yè)提供高科技裝備及服務(wù)。

公司擁有多臺套大型加工設(shè)備，如六米龍門銑床、四軸加工中心、數(shù)控車床、加工中心等，具有大型工件的加工能力，可為客戶定制加工各種大型和復雜非標真空部件。

公司于2022年取得上海市高新技術(shù)企業(yè)認證！