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近年來，隨著移動互聯(lián)網(wǎng)和智能化產(chǎn)品的普及，電池的需求量不斷攀升。然而，傳統(tǒng)液態(tài)電解質(zhì)電池存在著容易泄漏、充電速度慢、壽命短等缺點，讓人們對電池有諸多疑慮。而固態(tài)薄膜鋰電池的出現(xiàn)，則為這一問題提供了新的解決方案。

固態(tài)薄膜鋰電池是一種新型電池技術(shù)，與傳統(tǒng)電池相比，它具有更高的安全性、更短的充電時間和更長的使用壽命。由于其采用固態(tài)電解質(zhì)，不存在液態(tài)電解質(zhì)泄漏的風(fēng)險，同時還具有更高的能量密度和更好的耐高溫性能。因此，固態(tài)薄膜鋰電池被廣泛應(yīng)用于智能手機、平板電腦、電動車等各種電子產(chǎn)品中。

全固態(tài)薄膜鋰電池是由鈷酸鋰制成的陰極、氮摻雜正磷酸鋰 （LiPON） 電解質(zhì)和鋰 （Li） 金屬陽極制成的全固態(tài)鋰薄膜電池。當(dāng)這種固態(tài)結(jié)構(gòu)沉積在真空中時，可以產(chǎn)生近乎完美的能量密度、長壽命的電池，可以從完全充電到完全放電循環(huán)數(shù)千次，而不會降低性能。

當(dāng)電池充電時，鋰離子從正極材料中脫離，并通過固態(tài)電解質(zhì)薄膜進入負(fù)極材料，完成充電過程。而在放電過程中，鋰離子從負(fù)極材料中脫離，通過固態(tài)電解質(zhì)薄膜進入正極材料，釋放出儲存的能量。

固態(tài)薄膜鋰電池作為一種新型電池技術(shù)，具有更高的安全性、更短的充電時間和更長的使用壽命。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，它將在未來的電子產(chǎn)品中發(fā)揮越來越重要的作用。

在薄膜鋰電池的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，PVD薄膜沉積工藝發(fā)揮了重要作用。我們知道，*的電解質(zhì)應(yīng)該是高效的離子導(dǎo)體和良好的電絕緣體，使電池能夠安全運行；陽極和陰極應(yīng)該是致密的，并允許Li通過電解質(zhì)在這兩層之間輕松過渡；單個薄膜的均勻性和原始表面是電池隨著時間的推移有效工作的關(guān)鍵。薄膜鋰電池的真空制造工藝通常涉及金屬集流體的直流濺射、陰極層（如LiCoO2）的射頻或脈沖直流濺射， LiMn2O4、陰極的高溫退火、為了制造LiPON電解質(zhì)Li的反應(yīng)射頻濺射、鋰金屬陽極的熱蒸發(fā)，然后使用ALD用聚對二甲苯或其他保形涂層材料封裝器件。這些材料的優(yōu)化組合可以產(chǎn)生輕、薄、持久和安全的薄膜電池。

我公司很早就參與了固態(tài)薄膜鋰電池的研發(fā)工作，并為之設(shè)計了適合研發(fā)人員使用的個性化薄膜沉積平臺工具。

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